成膜関係
PLD(Pulsed Laser Deposition)です.パスカル製. これで成膜します.
ミストCVD(Chemical Vapor Deposition)装置です. エピテック製. 大気中での成膜が可能です.
高温管状炉です. 山田電機製 TSS-420.
恒温槽です. ヤマト科学製 DN410H.
プロセス関係
RTA装置．エピテック製．試料を不活性ガス中で熱処理します．急速昇温降温が可能です.
分析関係
X線回折装置．リガク製 Smart-Lab．粉末や薄膜の結晶構造解析に用います．
SEM(Scanning Electron Microscope)です.日立ハイテク製 S-4100L.
AFM(Atomic Force Microscope)です.SII製 SPI3800N & SPA400.
紫外可視近赤外分光光度計です.島津製作所製 UV-3150.
マニュアルプローバです.ハイソル製 HMP-200.